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精密洗凈技術(shù)
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為應(yīng)對(duì)不斷提升的半導(dǎo)體制程要求，依托美國、日本等技術(shù)支持，成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn)，擁有國際先進(jìn)的洗凈生產(chǎn)線，努力搶占半導(dǎo)體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點(diǎn)。
技術(shù)發(fā)展路線
技術(shù)設(shè)備能力
生產(chǎn)工藝
實(shí)用新型國家專利
壓緊環(huán)清洗保護(hù)及測量治具
一種緩蝕劑、清洗液及其應(yīng)用
電解工藝在ITO洗凈中的應(yīng)用
濺鍍押元陶瓷結(jié)構(gòu)
用于刻蝕設(shè)備的上部電極
用于去除晶圓玻璃掩膜版封裝膠的清洗劑及其制備和應(yīng)用
一種陽極管對(duì)心檢測裝置
一種液晶面板玻璃載運(yùn)車
