技術(shù)背景
(1)Ferrotec從事精密洗凈18年,積累了大量成熟的洗凈BKM,并在持續(xù)改進(jìn);
(2)與世界知名半導(dǎo)體設(shè)備商合作,共同開發(fā)領(lǐng)先的洗凈技術(shù);
(3)將于2019第一季度籌建精密洗凈研發(fā)中心,增強(qiáng)失效分析和先進(jìn)制程研發(fā)能力;
洗凈環(huán)境
(1)Cu/Non-Cu通過不同生產(chǎn)線完全隔離,降低交叉污染;
(2)不同制程的清洗隔離,專用陶瓷石英清洗線,降低污染;
(3)無塵室采用垂直流方式,無塵環(huán)境更容易控制;
(4)無塵室內(nèi)采用干濕分離,降低交叉污染的風(fēng)險(xiǎn);
設(shè)施 | 上海工廠 | 大連工廠 | 銅陵工廠 |
空壓機(jī) | 有油空壓機(jī) | 有油空壓機(jī) | 無油空壓機(jī) |
CDA/N2 | CDA | N2(99.999%) | N2(99.999%) |
純水 | 高純水(>16MΩ) | 超純水(>18MΩ) | 超純水(>18MΩ) |
無塵室 | 亂流式循環(huán)(1000級/100級) | 亂流式循環(huán)(1000級/100級) | 垂直層流式循環(huán) (100級/10級) |
生產(chǎn)環(huán)境 | 多種產(chǎn)品混合 | 專用生產(chǎn)線、環(huán)境可控 | 專用生產(chǎn)線、環(huán)境可控 |
自動(dòng)化 | 無 | 引入自動(dòng)噴砂、高壓水洗等自動(dòng)化設(shè)備 | 引入自動(dòng)噴砂、高壓水洗等自動(dòng)化設(shè)備 |
精密的測量設(shè)備
量測項(xiàng)目 | 量測設(shè)備 | 新廠 |
表面Particle | 表面顆粒儀 | 0.1um |
液體particle | LPC | 0.1um |
關(guān)鍵尺寸 | CMM | 0.001mm |
孔徑 | 影像儀 | 全自動(dòng)、0.001um |
微觀形貌 | Keyence | 3000X |
微觀裂紋 | C-SAM | 可斷面掃描 |