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精密石英

Ferrotec（中國）精密石英采用高品質(zhì)進(jìn)口原材料，經(jīng)過一系列的先進(jìn)加工工藝處理而成，歷經(jīng)20余年的研發(fā)生產(chǎn)，F(xiàn)errotec可批量生產(chǎn)12",8"以及8"以下半導(dǎo)體裝置用石英制品，并具備下一代18"石英產(chǎn)品的研發(fā)能力。同時能夠根據(jù)客戶要求選用合適的原材料進(jìn)行加工生產(chǎn)。

精密石英分類

Ferrotec（中國）為滿足客戶需求，可生產(chǎn)多種多樣的石英產(chǎn)品，依托精密的加工技術(shù)、焊接技術(shù)、表面處理（洗凈）技術(shù)三大核心技術(shù)優(yōu)勢以及具有全球化視野的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊支持，為客戶量身打造高品質(zhì)產(chǎn)品。

石英管類

主要包括反應(yīng)管，內(nèi)管，外管，爐管，噴射管等產(chǎn)品；主要應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散、氧化、成膜、熱處理等硅片表面處理工藝設(shè)備，對裝配尺寸、潔凈度、密封度有較高的要求。

石英舟類

分為5寸，6寸，8寸，12寸各類規(guī)格舟，應(yīng)用于各類表面處理工藝設(shè)備、濕法洗凈工藝中，舟類產(chǎn)品直接裝載硅片，并大多應(yīng)用于自動上下片工藝中，所以石英舟的尺寸精度和潔凈度非常重要。

石英機(jī)加工類

包括各種環(huán)、圓盤等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片刻蝕、沉積等工藝，對尺寸精度、潔凈度、外觀狀態(tài)等方面的要非常高，部分產(chǎn)品不允許返修，必須一次成型，所以對加工能力要求高。

石英治具類

主要有裝載盤、底座、封蓋等產(chǎn)品；應(yīng)用于各種半導(dǎo)體處理工藝的輔助設(shè)備中，其精度視應(yīng)用的工藝而定。

石英洗凈類

包括石英槽、石英支架等產(chǎn)品，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法洗凈工藝，精度相對不高，但對外觀、潔凈度有較高的要求。

耐熱性

透光性

高純度

電氣絕緣

化學(xué)穩(wěn)定

Ferrotec精密石英優(yōu)點

耐熱性、透光性、高純度、電氣絕緣、化學(xué)穩(wěn)定高。高精度的石英制品不僅為300nm半導(dǎo)體芯片制程提供可靠保障，也能滿足太陽能光伏行業(yè)在擴(kuò)散制程中對低鐵、低銅的要求，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體擴(kuò)散刻蝕工藝、光纖預(yù)制棒加工、LED照明制造及太陽能光伏等工業(yè)領(lǐng)域。

Matrix diagram of applications in various fields

各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖

半導(dǎo)體相關(guān)

精密石英

半導(dǎo)體晶圓制作擴(kuò)散，刻蝕等工藝；

半導(dǎo)體晶圓濕法洗凈工藝；

半導(dǎo)體硅片外延EPI等工藝；

LED制作外延MOCVD，芯片工藝；

光纖預(yù)制棒：制造過程中的爐心管、噴燈，配套緊固件；