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新材料技術(shù)
新材料技術(shù)
Ferrotec(中國)基于新材料技術(shù),專業(yè)生產(chǎn)精密石英、精密陶瓷、精密硅部件等半導體用新材料。
技術(shù)發(fā)展路線 精密陶瓷 精密硅制品 精密石英
Ferrotec(中國)在精密硅制品領(lǐng)域擁有先進的加工設(shè)備和一批高素質(zhì)的專業(yè)人員。

我們加工出來的硅部件產(chǎn)品和硅舟產(chǎn)品廣泛應用于半導體晶圓制造領(lǐng)域,硅舟主要應用于氧化、退火、CVD等工藝;硅聚焦環(huán)和分流盤主要應用于等離子體刻蝕機,贏得了國內(nèi)外半導體廠商的廣泛認可。


我們擁有多臺高精密檢測設(shè)備——如:三坐標測量儀、影像儀、粗糙度儀、電阻率測試儀、LPC等多種檢測設(shè)備。同時擁有50臺以上各類高精度高性能加工機床——如:數(shù)控加工中心,數(shù)控車床,平面研削機,多線切割機,鋸切割機,套筒切割機,無心研削機等高精度標準機床;同時擁有自主開發(fā)的半導體級別的高純洗凈線,能夠滿足先進工藝的要求。