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大硅片技術(shù)
大硅片技術(shù)
Ferrotec(中國)12英寸大硅片技術(shù)的突破,尤其是拉單晶技術(shù)、拋光技術(shù),使得硅片生產(chǎn)能力進一步升級,逐步實現(xiàn)300mm半導(dǎo)體硅片20萬片/月的目標(biāo)。
大硅片技術(shù)
Wafers for Semiconductor
技術(shù)設(shè)備能力 生產(chǎn)工藝 技術(shù)發(fā)展路線
  • 2002

    申和熱磁與日本東芝陶瓷、三井物產(chǎn)株式會社、和Ferrotec中國集團共同投資的單晶硅生產(chǎn)線成立;并導(dǎo)入單晶硅晶圓生產(chǎn)技術(shù)

    6月,首臺硅片設(shè)備搬入上海廠

  • 2003

    硅片項目正式投產(chǎn)

  • 2004

    項目達產(chǎn)

  • 2006

    12月,歷經(jīng)4年6個月,合計9次設(shè)備移設(shè)上海工廠,完成了5條生產(chǎn)線建立

  • 2010

    3月,首臺6寸單晶爐移設(shè)搬入上海工廠

    5月,實現(xiàn)點火開工

    自主進軍國內(nèi)半導(dǎo)體市場,自主成功研發(fā)出了重?fù)桨雽?dǎo)體硅片

  • 2015

    寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司成立

    “高性能N型半導(dǎo)體硅片”項目被列入”2014年上海市引進技術(shù)的吸收與創(chuàng)新計劃”

  • 2016

    5月,首條8寸線項目在上海工廠開工,技術(shù)來源于Global Wafer Japan

    銀川單晶生產(chǎn)基地開始建設(shè),日本單晶技術(shù)專家加入

    8寸COP Free以及退火硅片開發(fā)成功

  • 2017

    上海申和熱磁電子有限公司大尺寸半導(dǎo)體硅片項目建成投產(chǎn),同時由申和熱磁出資建設(shè)的寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司竣工

    共同構(gòu)建了年產(chǎn)180萬枚8"半導(dǎo)體級單晶硅片一期項目

    啟動了投資60億元的“年產(chǎn)360萬片8"半導(dǎo)體硅拋光片項目”和“年產(chǎn)240萬片12"半導(dǎo)體硅拋光片項目”,逐步形成8"和12"半導(dǎo)體大硅片的規(guī)?;a(chǎn)

  • 2018

    為大尺寸半導(dǎo)體硅片項目配套的寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司在銀川經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)投資16億元,將建成國際先進水平的8"和12"半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)基地

  • 2019

    上海中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司成立

    杭州工廠8寸、12寸半導(dǎo)體大硅片先后下線

    12寸大硅片技術(shù)完全依靠自身技術(shù)團隊開發(fā)

    11月,寧夏中欣晶圓榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

  • 2020

    8月,三地工廠名稱完成統(tǒng)一,并實現(xiàn)初步股改重組

    12月, 杭州中欣晶圓榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

    12月,12英寸第一枚外延片正式下線

  • 2021

    浙江麗水中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司及中欣晶圓日本公司成立

    8月,國內(nèi)首根12寸450kg投料晶棒完美問世

    9月,杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司順利完成B輪融資,融資金額33億元人民幣

    10月,上海中欣晶圓榮獲“國家高新技術(shù)企業(yè)認(rèn)證”

    10月,中欣晶圓半導(dǎo)體材料研究院正式成立

    11月,浙江麗水中欣晶圓外延項目建設(shè)工程開工

    12月,寧夏中欣晶圓榮獲“自治區(qū)半導(dǎo)體級硅晶圓材料工程技術(shù)研究中心”認(rèn)定

    12月,中欣晶圓半導(dǎo)體12英寸大硅片二期擴建項目竣工

  • 2022

    2月,杭州中欣晶圓在麗水經(jīng)開區(qū)成立全國技工院校首家半導(dǎo)體工匠學(xué)院

    5月,浙江麗水中欣晶圓外延項目封頂儀式舉行