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ビッグウェーハ技術(shù)
フェローテック（中國(guó)）の12インチのビッグウェーハ技術(shù)(特に単結(jié)晶引き上げ技術(shù)やポリッシング技術(shù))の突破により、ウェーハの生産キャパーをさらに向上させ、300mmの半導(dǎo)體ウェーハを月産20萬枚という目標(biāo)を少しずつ実現(xiàn)しています。
Wafers for Semiconductor
技術(shù)発展路線
技術(shù)的設(shè)備能力
生産プロセス
生産プロセス
Silicon Qarer Process Flow
ポリシリコン
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CZ法プーリング
CZ Growing
円筒研削
Grinding
スライシング
Cutting
切斷
Slicing
スライシング
Beveling
ベベリング
Lapping
ラッピング
Etching
エッチング
Donor Kill
ドナーキラー処理
Back Treatment
エッジ研磨
beveling Polishing
裏面処理
Polishing
ミラーポリッシング
Cleaning
検査
Inspection
包裝
Packaging
パッキング→シッピング
Shipping
