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ビッグウェーハ技術(shù)
ビッグウェーハ技術(shù)
フェローテック(中國(guó))の12インチのビッグウェーハ技術(shù)(特に単結(jié)晶引き上げ技術(shù)やポリッシング技術(shù))の突破により、ウェーハの生産キャパーをさらに向上させ、300mmの半導(dǎo)體ウェーハを月産20萬(wàn)枚という目標(biāo)を少しずつ実現(xiàn)しています。
ビッグウェーハ技術(shù)
Wafers for Semiconductor
技術(shù)発展路線 技術(shù)的設(shè)備能力 生産プロセス
Ferrotec(中國(guó))は2002年に東芝セラミックスから先進(jìn)的な100-150mmウエハーの生産ライン、加工技術(shù)及び管理システムを?qū)毪?、生産量は40萬(wàn)枚/月に達(dá)しました。

その上、技術(shù)の導(dǎo)入、吸収及び、革新を通して、知的財(cái)産権があり40-16nmレベルの8インチ半導(dǎo)體ポリッシュウエハーの技術(shù)が研究開(kāi)発されて、日本半導(dǎo)體用ウエハー加工裝置を使い、例えば、3-wayラップ機(jī)、キャリアレスファイナル洗浄裝置、AGV搬送システム、天井搬送システムなど、貼り付けから、研磨、剝離までの一貫全自動(dòng)ポリッシュラインが導(dǎo)入され、Ferrotec(中國(guó))自主的に研究開(kāi)発した引き上げ爐を使って、さらに、生産能力を向上させました。徐徐に8"、12"など大口徑ウエハーの生産能力を備えつつあります。世界でも最高級(jí)の大口徑半導(dǎo)體ウエハー産業(yè)、研究革新と開(kāi)発基地の建設(shè)を?qū)g現(xiàn)し、中國(guó)內(nèi)始めての同時(shí)に200mm半導(dǎo)體ウエハー45萬(wàn)枚/月、300mm半導(dǎo)體ウエハー20萬(wàn)枚/月を提供するメーカーになることを目指しています。


我々のウエハーは抵抗、平坦度、パーティクル、COP、金屬?zèng)A染など様々の面で管理されていて、メモリやロジック、パワーデバイス、センサーなど領(lǐng)域で使用されています。直接CMOS、EPI、SOI、MEMSなどの基盤(pán)として使用可能であり、中國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體IC産業(yè)、自動(dòng)車(chē)、コンピュータ、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)、醫(yī)療、政府、國(guó)防だど領(lǐng)域は8"及び12"半導(dǎo)體ウエハーに対する需要を埋め合わせます。國(guó)內(nèi)市場(chǎng)ウエハー供給の安全性とIC産業(yè)構(gòu)造の整合性及び安定性を保証し、中國(guó)半導(dǎo)體産業(yè)の発展に重要な意味があります。